扫描电镜

【型号】

TESCAN VEGA 3

【生产厂家】

捷克泰斯肯

【仪器参数】

分辨率：高真空(二次电子3.0 nm at 30kv，8.0nm at 3kv)；低真空(低真空二次电子)﹕3.5 nm at 30 kV；放大倍数:2.5 to 100000×；真空系统:高真空<9*10-3Pa；加速电压0.2kV to 30Kv；电子束电流1pA—2uA；样品室内部尺寸：230mm(width)×148mm(depth)；样品台：全自动控制。

【用途】

金属、非金属、生物等各种样品的微观形貌分析，微区物质成分分析，化学元素衬度像、晶粒取向衬度像分析等

【功能】

二次电子像可观察样品表面形貌，颗粒大小，分布。

背散射像可以观察样品表面成份信息。

【原理】

用极细的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生的各种效应对样品表面微观成像，可进行二次电子与背散射电子成像。放大倍数连续可调，景深大、成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面细微结构。